【儀器設備網 m.xuntaikeji.com  焦點新聞】又一項半導體材料關鍵裝備-高能離子注入機獲取突破。電科裝備自主研制開發(fā)的高能離子注入機順利完成百萬電子伏特高能離子加速，性能指標達國際主流產品xian進水平。

　　據了解，中國電子科技集團旗下電科裝備自主研制開發(fā)的高能離子注入機順利完成百萬電子伏特高能離子加速，性能指標達國際主流產品xian進水平。這代表著在芯片自主研制開發(fā)的道路上，中國又攻克了一樣受制多年的關鍵裝備。現(xiàn)階段世界范圍內以集成電路領域離子注入機為主要業(yè)務的公司只有6家。

　　離子注入機是半導體材料晶圓制造等領域的關鍵儀器設備之一。在半導體材料晶圓制造中，鑒于純凈硅的導電的性能能很差，必須加入少量雜質使其結構和電導率發(fā)生改變，進而轉變成一種有價值的半導體材料，這一流程稱為摻雜。

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　　半導體材料就是指一種導電的性能可受控制，范圍可從絕緣體至導體之間的材料。不管從科技或是社會經濟發(fā)展的角度來看，半導體材料的重要性都是特別巨大的。如今大部分的電子設備，如電子計算機、智能手機或是數字錄音機當中的關鍵單元都和半導體材料有著極為密切的關系。常用的半導體材料有硅、鍺、砷化鎵等，而硅更是各種半導體材料中，在商業(yè)應用上較具有影響力的一種。

　　因此可見，半導體材料較為重要，而半導體材料的關鍵裝備之前一直依賴于其他國家。經過科研人員不懈努力，我國又一項半導體材料關鍵裝備獲取突破!